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芯片生产中光刻气也就是电子气体占比比光刻胶还要高

[概念]
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846 10 股路苍桑 Lv.4 发表于 · 2020-5-20 22:17 举报 显示全部楼层 复制 正序浏览 |
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电子气体是指用于半导体及相关电子产品生产的特种气体,应用范围十分广泛。按其本身化学成分可分为:硅系、砷系、磷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物七类。按在集成电路中不同应用途径可分为掺杂用气体、外延用气体、离子注入气、发光二极管用气、刻蚀用气体、化学气相沉积气和平衡气。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体,其中常用的有超过30种

特种电气提纯是制备工艺的核心技术壁垒。特种气体纯度的提高,能够有效提高电子器件生产的良率和性能。电子特气中水汽、氧等杂质组易使半导体表面生成氧化膜,影响电子器件的使用寿命,含有的颗粒杂质会造成半导体短路及线路损坏。而伴随半导体工业的不断发展,产品的生产精度越来越高。以集成电路制造为例,其电路线宽已经从最初的毫米级,到微米级甚至纳米级,对应用于半导体生产的电子特气纯度亦提出了更高的要求

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戒不掉的烟
Lv.3
发表于 2020-5-24 22:17 复制 查看全部楼层
谢谢楼主分享!

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蜗牛啊
Lv.4
发表于 2020-5-24 19:18 复制 查看全部楼层
谢谢分享,楼主辛苦了

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闻风可相阅
Lv.6
发表于 2020-5-24 19:04 复制 查看全部楼层
谢谢分享!!!

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森垚321
Lv.3
发表于 2020-5-24 11:57 复制 查看全部楼层
谢谢楼主分享!

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航天长空
Lv.5
发表于 2020-5-23 04:41 复制 查看全部楼层
感谢分享!

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独求
Lv.4
发表于 2020-5-23 01:09 复制 查看全部楼层
谢谢提供分享

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老顽童gxf
Lv.5
发表于 2020-5-23 00:47 复制 查看全部楼层
谢谢提供分享

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山水剑
Lv.3
发表于 2020-5-22 23:59 复制 查看全部楼层
谢谢分享!!!!

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依旧如初
Lv.5
发表于 2020-5-21 12:41 复制 查看全部楼层
谢谢分享.................

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春天水乡
Lv.6
发表于 2020-5-21 10:29 复制 查看全部楼层
感谢分享!

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